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國產小型桌面式快速退火爐 4寸非真空

簡要描述:國產小型桌面式快速退火爐 4寸非真空,RTP500Z,使用多溫區控溫,可通過APP界面調節溫度均勻性。優秀的光源冷卻系統確保光源壽命達到國際水平??茖W的波長分布保證半導體材料可有效吸收。

  • 產品型號:RTP500Z
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-07-02
  • 訪  問  量:488

詳細介紹

國產小型桌面式快速退火爐 4寸非真空

產品優勢

  1. 真實反應實時溫度,不會使用低靈敏度單元隱藏溫度過沖,溫度不穩不是樣品實際溫度等問題。自研非傳統PID溫控,即使在最大升溫速率下仍可保證不過沖。

  2. 優秀的熱交換系統,比同類產品功耗低70%,因此也善于長時間加熱,和國外同類產品比對水冷要求低,耗電量低,高溫持續加熱時間長。不會像某些產品那樣因高溫長時間加熱造成腔體產生異味甚至損壞。

  3. 使用多溫區控溫,可通過APP界面調節溫度均勻性。優秀的光源冷卻系統確保光源壽命達到國際水平。科學的波長分布保證半導體材料可有效吸收。不會像某些產品遇到脆弱樣品就發生變形甚至裂片。

  4. 異常保護,安全設計,對氫氣,氨氣等特殊氣氛的使用經驗豐富。30年間用戶安全使用無事故。對軍線,美國芯片法案禁運企業使用設備保障有力。20年前設備仍可正常維護。供應鏈安全,設備配件供應,貨期有保障。

 國產小型桌面式快速退火爐 4寸非真空

規格:

國產小型桌面式快速退火爐 4寸非真空

 

快速退火爐是一種用于材料科學和半導體工業的高效熱處理設備,通過快速升降溫(通常在幾秒到幾分鐘內達到目標溫度)實現對材料的精確退火處理。其核心優勢在于快速熱響應和精確溫度控制,廣泛應用于半導體晶圓、薄膜材料、金屬合金等的工藝優化。

 

應用領域

1.半導體制造:

離子注入后激活摻雜原子(如硅晶圓中磷、硼的激活)。

修復晶格缺陷,提升電子遷移率。

2.薄膜材料:

金屬薄膜(如銅、鋁)的致密化和導電性優化。

透明導電氧化物(如ITO薄膜)的結晶度調控。

3.新能源材料:

太陽能電池(如PERCHJT電池)的鈍化層退火。

鋰離子電池電極材料的晶相調整。

4.科研領域:

納米材料(量子點、石墨烯)的快速合成與改性。

 

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