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簡要描述：德國osiris勻膠機(jī)：SPIN COATING，應(yīng)用于勻膠工藝的設(shè)備，具有CCP(夾具密封工藝)的勻膠技術(shù)和可選的烘烤熱板，適用于實(shí)驗(yàn)室開展科學(xué)研究、技術(shù)開發(fā)和企業(yè)小批量多品種生產(chǎn)。設(shè)備具有多選項(xiàng)（例如可編程滴膠臂）并且可以升級成自動化的系統(tǒng)達(dá)到更高的片到片工藝重復(fù)性。
產(chǎn)品型號：UNIXX-SERIES 廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2025-07-02訪 問 量：1351產(chǎn)品分類
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Osiris勻膠機(jī)
用于處理單晶圓的系統(tǒng)，具有用于半導(dǎo)體和微系統(tǒng)技術(shù)的定制基板加工選項(xiàng)。
旋涂機(jī) - CCP
設(shè)計用于以下應(yīng)用：
帶蓋卡盤處理器 （CCP） 的旋轉(zhuǎn)涂層
1.UNIXX S760+
（21x21 英寸）獨(dú)立系統(tǒng)
用于大型基材的旋涂機(jī)。
2.UNIXX SA30+
（?300毫米）獨(dú)立系統(tǒng)
帶蓋卡盤旋涂機(jī)。（單底座）
3. UNIXX SHp22+
（直徑200mm）獨(dú)立系統(tǒng)
有蓋卡盤旋涂機(jī)和加熱板模塊。
旋涂機(jī) - 開式轉(zhuǎn)鼓
設(shè)計用于以下應(yīng)用：
帶開口碗的旋轉(zhuǎn)涂層，用于標(biāo)準(zhǔn)涂層。
1.UNIXX SA30
（?300毫米）獨(dú)立系統(tǒng)
開式轉(zhuǎn)鼓旋涂布機(jī)。（單底座）
2. UNIXX SHe22
（直徑200mm）獨(dú)立系統(tǒng)
開碗旋涂機(jī)和加熱板模塊。
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