適用于最大 150 毫米晶圓測試的 SPS-1000 系列是美國MicroXac手動探針臺的縮小版，仍然保留了更高價格系統的所有相關規格。該系統小巧、符合人體工程學且使用方便，是半導體器件和電路的實驗室測試和表征的理想選擇。全手動載物臺組件包含精密交叉滾子軸承，運動范圍為 100mm x 100mm 或 150mm x 150mm（或更大）。額外的預載滑軌可輕松裝卸晶圓或內含樣品,通過粗調和微調以及 12.7 毫米、25 毫米或 40 毫米的范圍方便地手動控制壓板 光滑的磁性鋼壓板最多可容納10 個磁性或真空定位器。具有高達 200 毫米工作距離和高強度 LED 照明的高質量立體變焦顯微鏡在 3.5 倍至 180 倍的放大倍率范圍內提供出色的視覺效果。

適用于最大 200 毫米晶圓測試的 SPS-1200 系列是美國MicroXac手動探針臺 SPS-2200的縮小版，它仍然保留了更高價格系統的所有相關規格。小巧、符合人體工程學且使用方便的系統是半導體器件和電路的實驗室測試和表征的理想選擇。全手動載物臺裝配，帶精密交叉滾子軸承，運動范圍為 200mmx200mm。包含一個預載滑軌，可輕松裝載和卸載晶圓或樣品。方便的手動控制壓板，粗調和精調范圍為 12 毫米或 25 毫米。光滑的磁性鋼壓板最多可容納 10 個磁性或真空定位器。具有高達 200 毫米工作距離和高強度 LED 照明的高質量立體變焦顯微鏡在 3.5 倍至 180 倍的放大倍率范圍內提供出色的視覺效果。

SPS-2000 系列是 MicroXact 手動探針臺，設計靈活且易于使用。我們的系統提供了一定水平的高性能，使這些站點獨樹一幟。憑借多種可用選項，包括熱晶圓卡盤、立體變焦、復合或數字顯微鏡以及全射頻外殼，該系統的靈活性幾乎是無限的。全手動載物臺裝配，帶精密交叉滾子軸承，運動范圍為 100mm x 100mm（或更大）。還提供額外的預加載滑塊，以便輕松加載和卸載晶圓或樣品。手動控制壓板，粗調和精調范圍為 12.7 毫米（可根據要求提供更大范圍）。光滑的粉末涂層鋼板可容納多達 10 個磁性或真空定位器。具有高達 200 毫米工作距離和高強度 LED 照明的高質量立體變焦顯微鏡在 3.5 倍至 180 倍的放大倍率范圍內提供出色的視覺效果。

SPS-2200 系列是 MicroXact 手動探針臺，用于測試最大 200 毫米的晶圓，設計靈活且易于使用。我們的系統提供了一定水平的高性能。由于提供了多種選擇，該系統的靈活性幾乎是無限的。全手動載物臺裝配，帶精密交叉滾子軸承，運動范圍為 225mm x 225mm。用于輕松裝載和卸載晶圓或樣品的預載滑塊包含在基本模型中。手動控制壓板，粗調和精調范圍為 12.5 毫米（可根據要求提供更多范圍）。光滑的粉末涂層鋼板可容納多達 10 個磁性或真空定位器。具有高達 200 毫米工作距離和高強度 LED 照明的高質量立體變焦顯微鏡在 3.5 倍至 180 倍的放大倍率范圍內提供出色的視覺效果。