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詳細介紹
XY平臺和壓板的精密電機控制。還可提供額外的預載滑塊，以便于裝載和卸載晶圓或樣品。
光滑的粉末涂層鋼板可容納多達10個磁性或真空定位器。
通過位于站兩側的終端隔離饋通，可以方便地連接微定位器，可以為BNC，Triax或Banana插頭連接進行定制。
標準吊桿安裝組件，用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。
可用的高分辨率微定位器，帶80TPI螺釘，用于探針的μm級定位。
可用的RF選項包括可定制的RF探頭，RF偏置卡盤和屏蔽罩。
高分辨率復合顯微鏡。
偏光顯微鏡。
廣泛的相機選擇。
射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。
拋光鍍金可調節真空吸盤。
超*真空泵。
標準半自動化系統
電動XY夾頭，SPS-2600中的電動壓板，SPS 2800中卡盤的電動Z軸運動，標準配置。Motorized theta是一種選擇。
基于步進電機，無編碼器。
成本競爭力
強烈推薦用于需要低于0°C的測試或屏蔽的應用
可用選項：加熱或冷卻卡盤，變焦鏡或復合顯微鏡，各種屏蔽，用于直流和射頻測量的卡盤選擇等等
型號 | SPS-2800 | SPS-2600 | |
晶圓尺寸 | 高達200mm | 高達100mm | |
電機類型 | 步進電機 | ||
XY舞臺行程 | 高達200mmx200mm | 高達125mmx125mm | |
XY舞臺分辨率 | 電動，6.5μm重復性 | ||
顯微鏡 | 高品質立體聲變焦，工作距離可達200??mm，放大倍率范圍為3.5X至180X | ||
饋通終端 | BNC，Triax或香蕉插頭 | ||
系統尺寸 | 122厘米寬x122厘米深x 92厘米高 | 78厘米寬x80厘米深x 58厘米高 | |
產品咨詢
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