涂膠顯影機(jī)具有可編程閥,它可以使單注射器試劑滴膠按照蝕刻,顯影和清洗應(yīng)用的要求重復(fù)進(jìn)行,如沖洗（通常是去離子水或溶劑）,然后干燥（通常是氮?dú)猓┑群蟮奶幚聿襟E。采用此序貫閥門技術(shù)的晶圓片和管道在*干燥的環(huán)境中開通和關(guān)閉處理過程。隔離和獨(dú)立的給水器可處在靜態(tài)的位置還可以蓋內(nèi)調(diào)節(jié)。還有可選擇的動態(tài)線性或徑向滴膠的特性。

　　涂膠顯影機(jī)加熱位置都是貼在熱板上，透過熱傳導(dǎo)的方式對晶圓進(jìn)行加熱，每個(gè)熱板同時(shí)只有一個(gè)加熱溫度。若遇到溫度改變也即晶圓需要經(jīng)過不同的工藝溫度的處理時(shí)，就會需要時(shí)間來做溫度的切換，如果遇到溫度落差比較大的時(shí)候，升降溫的過程中晶圓將會停止傳送，這會嚴(yán)重的影響到生產(chǎn)速率。

　　晶圓在加熱時(shí)放置在所述頂針的頂部，所述熱板提供加熱源，從所述熱板的表面往上的空間范圍內(nèi)在抽氣氣流的作用下溫度逐漸降低，通過所述步進(jìn)馬達(dá)控制所述頂針頂部的位置來設(shè)定所述晶圓所處的空間位置并進(jìn)而設(shè)置所述晶圓的工藝溫度。

　　進(jìn)一步的改進(jìn)是，所述頂針的根數(shù)為至少3根。

　　進(jìn)一步的改進(jìn)是，所述晶圓的工藝溫度包括多個(gè)。

　　進(jìn)一步的改進(jìn)是，所述熱板的表面的溫度高，所述晶圓的工藝溫度小于等于所述熱板的表面溫度。

　　進(jìn)一步的改進(jìn)是，所述晶圓位于所述熱板表面時(shí)，所述熱板通過熱傳導(dǎo)方式、對流和輻射的方式對所述晶圓加熱。

　　涂膠顯影機(jī)的日常維護(hù)您知道有哪些嗎？每天機(jī)器工作完畢后請安排大約在15分鐘內(nèi)對機(jī)器進(jìn)行清洗。

　　1、切斷電源和水源，使用清洗瓶灌滿干凈的清水，噴口對準(zhǔn)液面以上的輥軸和齒輪輕輕噴些清水以沖洗附著在部件上的藥液結(jié)晶。

　　2、使用干凈的毛巾擦拭輥軸，藥槽上蓋內(nèi)面，前輸版臺以及機(jī)身外殼。

　　3、使用清水沖洗膠輥，去除殘留在膠輥上的膠水以免膠水粘結(jié)影響機(jī)器的下次工作。

　　4、排干水槽內(nèi)的水，防止水體中的微生物導(dǎo)致水質(zhì)變差。

　　注意∶絕不能使用粗糙堅(jiān)硬的器具清洗膠輥，以防劃傷或損壞膠輥表面。