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薄膜厚度均勻性和光學(xué)特性（N&K）是集成電路和MEMS制造過(guò)程中的一個(gè)關(guān)鍵參數(shù)。薄膜沉積控制可以產(chǎn)生高質(zhì)量的圖形，并確保在光刻步驟之后的器件性能。除了在半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)的步中對(duì)薄膜進(jìn)行檢查的必要性外，還需要在后階段進(jìn)行檢查，在這一階段進(jìn)行封裝（在集成電路頂部涂上一層涂層，以保護(hù)其免受物理?yè)p傷和腐蝕）。在這里，我們使用了FR-Scanner來(lái)繪制兩個(gè)商業(yè)光刻電阻的厚度圖，這兩個(gè)光刻電阻沉積在300毫米硅晶片上，用于封裝應(yīng)用。FR-Scanner是一種工具，用于自動(dòng)表征硅和其他尺寸達(dá)4...

通過(guò)白光反射光譜（WLRS）和FR映射器繪制薄膜厚度目標(biāo)：在大面積上表征薄膜厚度均勻性。測(cè)量方法：采用Fr-Basic與Fr-Mapper相結(jié)合的方法，在大面積的預(yù)定點(diǎn)上快速、準(zhǔn)確地測(cè)量薄膜厚度。當(dāng)樣品固定在一個(gè)Fr-Mapper上時(shí)，所有的測(cè)量都用一個(gè)Fr-Basic進(jìn)行調(diào)節(jié)，使其在540-1000納米的光譜范圍內(nèi)工作。反射探頭的有效光斑直徑為0.5毫米。樣品是涂有SiO2（熱的或TEOS）和Si3N4（LPCVD）/SiO2（熱的）4英寸硅晶片。在參考測(cè)量中，使用了高反射...

鈣鈦礦廣泛用于太陽(yáng)能電池的開(kāi)發(fā)。由于這些類(lèi)型的太陽(yáng)能電池具有良好的光伏性能，因此對(duì)它們進(jìn)行了系統(tǒng)的研究。鈣鈦礦薄膜的厚度和形態(tài)是影響太陽(yáng)能電池性能的重要因素。特別地，人們發(fā)現(xiàn)，當(dāng)鈣鈦礦的厚度小于400nm時(shí)，鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的效率很大程度上取決于薄膜厚度；而當(dāng)鈣鈦礦的厚度大于400nm時(shí)，效率則很大程度上取決于鈣鈦礦層的薄膜形態(tài)。在本應(yīng)用說(shuō)明中，我們使用FR工具測(cè)量鈣鈦礦薄膜的厚度。測(cè)量方法：用于表征的樣品是兩種不同厚度的CH3NH3PbBr3鈣鈦礦薄膜，它們位于標(biāo)準(zhǔn)ITO/...

WS1000濕法刻蝕機(jī)適用于哪些工藝行業(yè)中WS1000濕法刻蝕機(jī)是由全白色聚丙烯構(gòu)造，可內(nèi)置任何旋涂機(jī)及顯影機(jī)，排放簡(jiǎn)便的入氮口和DI噴頭，如果需要單工的系統(tǒng)，可選擇WS-1000M濕法刻蝕設(shè)備，WS1000濕法刻蝕機(jī)旋轉(zhuǎn)處理濕法設(shè)備可以被配置成測(cè)試模塊構(gòu)造，安裝簡(jiǎn)便，易于拆卸，更便于操作者控制。WS1000濕法刻蝕機(jī)工作原理：WS1000濕法刻蝕機(jī)具有可編程閥，它可以使單注射器試劑滴膠按照蝕刻、顯影和清洗應(yīng)用的要求重復(fù)進(jìn)行，如沖洗（通常是去離子水或溶劑），然后干燥（通常是氮...

德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)使用過(guò)程及其結(jié)合的技術(shù)應(yīng)用德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)操作過(guò)程：人工將產(chǎn)品不停的放入流水線上，不停的傳送，直噴噴槍或旋轉(zhuǎn)噴槍不停的工作清洗產(chǎn)品表面，清洗一個(gè)產(chǎn)品大約需要12S，（清洗速度可根據(jù)流水線轉(zhuǎn)速可調(diào)節(jié)，流水線轉(zhuǎn)速越快則效率越高）兩把風(fēng)槍清洗，故清洗一個(gè)產(chǎn)品只需要6S，提率，清洗完后自動(dòng)流出，人工取出產(chǎn)品。等離子體是在氣體受到高能量放電時(shí)產(chǎn)生的：氣體分解成電子，離子，高度活性自由基，短波紫外光子和其他激發(fā)粒子。這些物質(zhì)當(dāng)被高能量放電激發(fā)時(shí)有效...

美國(guó)Tergeo系列臺(tái)式等離子清洗機(jī)為實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)部門(mén)提供性價(jià)比高的小型等離子清洗設(shè)備。Tergeo-EM等離子清洗機(jī)是為SEM/TEM樣品清洗應(yīng)用而設(shè)計(jì)。它取代了標(biāo)準(zhǔn)Tergeo等離子清洗機(jī)中的石英窗，采用不銹鋼適配器，可放入兩個(gè)不同品牌的TEM樣品桿，可將SEM樣品架放置在內(nèi)部石英板上進(jìn)行清洗。特點(diǎn)：1）雙等離子源設(shè)計(jì)可滿足不同樣品的要求。間接模式足夠溫和，可以處理3nm超薄多孔碳網(wǎng)格。直接模式可以足夠強(qiáng)，可以去除超過(guò)幾微米厚的有機(jī)污染層。直接/浸入式清洗模式...

3850壓實(shí)密度儀壓實(shí)密度與片比容量關(guān)系3850壓實(shí)密度儀原理:鋰離子動(dòng)力電池在制作過(guò)程中，壓實(shí)密度對(duì)電池性能有較大的影響。通過(guò)實(shí)驗(yàn)證明，壓實(shí)密度與片比容量，效率，內(nèi)阻，以及電池循環(huán)性能有密切的關(guān)系。找出*壓實(shí)密度對(duì)電池設(shè)計(jì)很重要。一般來(lái)說(shuō)，壓實(shí)密度越大，電池的容量就能做的越高，所以壓實(shí)密度也被看做材料能量密度的參考指標(biāo)之一。壓實(shí)密度不光和顆粒的大小、密度有關(guān)系，還和粒子的級(jí)配有關(guān)系，壓實(shí)密度大的一般都有很好的粒子正態(tài)分布。可以認(rèn)為，工藝條件一定的條件下，壓實(shí)密度越大，電池的...